Вопросы радиоэлектроники. 2019; 1: 14-18
ОЦЕНКА СТРУКТУРНОГО ПОДОБИЯ В КОНТРОЛЕ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОДУКЦИИ
https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-7-14-18Аннотация
В статье рассматривается технологический процесс изготовления микромеханических гироскопов, на выходе которых получается разделенная на ячейки кристаллическая пластина, при этом каждая ячейка содержит некоторое фиксированное число элементов продукции. Предлагается оценка структурного подобия для измерений технических характеристик различных приборов. Относительно большая величина оценки структурного подобия означает, что существует зависимость качества изготовленных приборов от положения на кристаллической пластине. Это дает основания для дальнейшей работы по улучшению технологического процесса или для изменения технологической схемы в целом. В статье рассмотрен численный пример, основанный на реальной выборке микроэлектронной продукции. Предлагаемая методика может быть использована как в процессе наладки производственного процесса, так и в процессе отбраковки выпускаемой продукции, когда дальнейшая настройка оборудования уже невозможна.
Список литературы
1. Гусман Ю.А., Пичугин Ю.А., Смирнов А.О. Информативность по Шеннону в контроле микроэлектронной продукции // Вопросы радиоэлектроники. 2018. № 10. С. 6–10.
2. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007. 400 с.
3. Прикладная статистика. Классификация и снижение размерности / С.А. Айвазян, В.М. Бухштабер, И.С. Енюков, Л.Д. Мешалкин. М.: Финансы и статистика, 1989. 607 с.
4. Ллойд Э., Ледерман У. Справочник по прикладной статистике. Т. 2. М.: Финансы и статистика, 1990. 526 с.
5. Пичугин Ю.А. Замечания к использованию главных компонент в математическом моделировании // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. 2018. Т. 11. № 3. С. 74–89.
6. Прикладная статистика. Исследование зависимостей / С.А. Айвазян, В.М. Бухштабер, И.С. Енюков, Л.Д. Мешалкин. М.: Финансы и статистика, 1985. 487 с.
7. Ллойд Э., Ледерман У. Справочник по прикладной статистике. Т. 1. М.: Финансы и статистика, 1989. 510 с.
8. Себер Д. Линейный регрессионный анализ. М.: Мир, 1980. 456 c.
9. Михальчук А.С. Оценка погрешностей геометрических размеров конструктивных элементов микромеханического гироскопа на основе статистики измерений собственных частот // Сборник трудов научной сессии ГУАП. Ч. 1. Технические науки. 2013. С. 183–186.
Issues of radio electronics. 2019; 1: 14-18
ESTIMATION OF STRUCTURAL SIMILARITY FOR CONTROL OF MICROELECTRONIC PRODUCTS
https://doi.org/10.21778/2218-5453-2019-7-14-18Abstract
In this paper we consider the technological process of manufacturing micromechanical gyroscopes, the output of which is divided into cells of the crystal plate and each cell contains a fixed number of product elements. The estimation of structural similarity for measurements of technical characteristics of various devices is offered. A relatively large value of structural similarity assessment means that there is a dependence of the quality of the manufactured devices on the position on the crystal plate. This gives a good reason for further work to improve the quality of the process or to change the technological scheme as a whole. The article considers a numerical example based on a real sample of microelectronic products. The proposed method can be used both in the process of adjustment of the production process and in the rejection of products, when further configuration of the equipment is no longer possible.
References
1. Gusman Yu.A., Pichugin Yu.A., Smirnov A.O. Informativnost' po Shennonu v kontrole mikroelektronnoi produktsii // Voprosy radioelektroniki. 2018. № 10. S. 6–10.
2. Raspopov V.Ya. Mikromekhanicheskie pribory. M.: Mashinostroenie, 2007. 400 s.
3. Prikladnaya statistika. Klassifikatsiya i snizhenie razmernosti / S.A. Aivazyan, V.M. Bukhshtaber, I.S. Enyukov, L.D. Meshalkin. M.: Finansy i statistika, 1989. 607 s.
4. Lloid E., Lederman U. Spravochnik po prikladnoi statistike. T. 2. M.: Finansy i statistika, 1990. 526 s.
5. Pichugin Yu.A. Zamechaniya k ispol'zovaniyu glavnykh komponent v matematicheskom modelirovanii // Nauchno-tekhnicheskie vedomosti SPbGPU. Fiziko-matematicheskie nauki. 2018. T. 11. № 3. S. 74–89.
6. Prikladnaya statistika. Issledovanie zavisimostei / S.A. Aivazyan, V.M. Bukhshtaber, I.S. Enyukov, L.D. Meshalkin. M.: Finansy i statistika, 1985. 487 s.
7. Lloid E., Lederman U. Spravochnik po prikladnoi statistike. T. 1. M.: Finansy i statistika, 1989. 510 s.
8. Seber D. Lineinyi regressionnyi analiz. M.: Mir, 1980. 456 c.
9. Mikhal'chuk A.S. Otsenka pogreshnostei geometricheskikh razmerov konstruktivnykh elementov mikromekhanicheskogo giroskopa na osnove statistiki izmerenii sobstvennykh chastot // Sbornik trudov nauchnoi sessii GUAP. Ch. 1. Tekhnicheskie nauki. 2013. S. 183–186.
