Вопросы радиоэлектроники. 2016; : 57-61
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В УСЛОВИЯХ ВОЗМУЩЕНИЙ
Аннотация
Рассматривается актуальная в условиях импортозамещения задача обеспечения гарантированных значений показателей качества технологического процесса производства микроэлектроники на основе адаптивного управления климатическими параметрами в производственном помещении в условиях неопределенности модели состояния. Оригинальность предлагаемого решения заключается в комплексировании технологии рекуррентного оценивания и нечеткого регулирования при формировании управляющего воздействия в условиях возмущений.
Список литературы
1. Семенова, Е. Г., Васильев, О. И. Системный подход при анализе процессов производства прецизионных сложнопрофильных конструкций // Информационно-управляющие системы. – 2014. – № 1 (68). – С. 102–107.
2. ГОСТР ИСО 14644-2-2001. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. – Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТР ИСО 14644–1.
3. Усков, А. А. Системы с нечеткими моделями объектов управления: монография. – Смоленск: Смоленский филиал АНО ВПО ЦС РФ «Российский университет кооперации», 2013.
Issues of radio electronics. 2016; : 57-61
UPGRADING OF THE CLIMATIC PARAMETERS TECHNOLOGICAL PROCESSES OF PRODUCTION MICROELECTRONICS AUTOMATIC CONTROL SYSTEMS UNDER CONDITIONS OF PERTURBATIONS
Abstract
References
1. Semenova, E. G., Vasil'ev, O. I. Sistemnyi podkhod pri analize protsessov proizvodstva pretsizionnykh slozhnoprofil'nykh konstruktsii // Informatsionno-upravlyayushchie sistemy. – 2014. – № 1 (68). – S. 102–107.
2. GOSTR ISO 14644-2-2001. Chistye pomeshcheniya i svyazannye s nimi kontroliruemye sredy. – Chast' 2. Trebovaniya k kontrolyu i monitoringu dlya podtverzhdeniya postoyannogo sootvetstviya GOSTR ISO 14644–1.
3. Uskov, A. A. Sistemy s nechetkimi modelyami ob\"ektov upravleniya: monografiya. – Smolensk: Smolenskii filial ANO VPO TsS RF «Rossiiskii universitet kooperatsii», 2013.
