Журналов:     Статей:        

Вопросы радиоэлектроники. 2016; : 61-67

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПУТЕЙ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ДИНАМИЧЕСКИХ СИСТЕМ В ПРОИЗВОДСТВЕННОМ ПРОЦЕССЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПАТЕНТНОЙ АКТИВНОСТИ

Алешкин Н. А., Петрушевская А. А.

Аннотация

Проведенные патентные исследования и анализ мировой патентной активности подтверждают актуальность совершенствования систем автоматического управления параметрами микроклимата производственного процесса изготовления радиоэлектроники в условиях импортозамещения, микроминиатюризации и обеспечения заданных характеристик качества научной задачи.
Список литературы

1. СП 20.13330.2011. Нагрузки и воздействия. Актуализированная редакция СНиП 2.01.07–85*. М., 2011. 80 с.

2. Леонов С. А. Влияние деформаций элементов конструкции плоской моноимпульсной ФАР на точность пеленгации // Антенны. 1988. Вып. 35. С. 80–89.

3. Леонов С. А. Влияние динамики колебаний антенной решетки на точность пеленгации // Антенны. 1989. Вып. 36. С. 64–73.

4. Справочник по радиолокации. Книга 1. М.: Техносфера. 2015. 672 с.

5. Сергеев Д. В. Основы единой методики комплексного геодезического контроля c применением косвенного ориентирования в процессе жизненного цикла РЛС ВЗГ // РТИ Системы ВКО-2014: материалы II Всероссийской научной конференции (18.06.2014, Москва). С. 345–354.

6. Козлов Н. А. Общая теория косвенных способов геодезического и астрономического ориентирования. М.: Министерство обороны СССР, 1979. 153 с.

Issues of radio electronics. 2016; : 61-67

DEFINITION OF DIRECTIONS OF IMPROVING CLIMATIC DYNAMIC SYSTEMS IN PRODUCTION PROCESS OF MICROELECTRONICS PRODUCTS MANUFACTURING BASED ON THE ANALYSIS OF PATENT ACTIVITY

Aleshkin N. , Petrushevskaya A.

Abstract

Conducted patent research and analysis of world patent activity confirm relevant in the context of import substitution, the miniaturization and ensure the specified characteristics of the quality scientific task of improving systems of automatic control of microclimate parameters in the production process, relevant trends in technology for precision production of microelectronics. Conducted patent research and analysis of world patent activity confirm relevant in the context of import substitution, the miniaturization and ensure the specified characteristics of the scientific task quality.
References

1. SP 20.13330.2011. Nagruzki i vozdeistviya. Aktualizirovannaya redaktsiya SNiP 2.01.07–85*. M., 2011. 80 s.

2. Leonov S. A. Vliyanie deformatsii elementov konstruktsii ploskoi monoimpul'snoi FAR na tochnost' pelengatsii // Antenny. 1988. Vyp. 35. S. 80–89.

3. Leonov S. A. Vliyanie dinamiki kolebanii antennoi reshetki na tochnost' pelengatsii // Antenny. 1989. Vyp. 36. S. 64–73.

4. Spravochnik po radiolokatsii. Kniga 1. M.: Tekhnosfera. 2015. 672 s.

5. Sergeev D. V. Osnovy edinoi metodiki kompleksnogo geodezicheskogo kontrolya c primeneniem kosvennogo orientirovaniya v protsesse zhiznennogo tsikla RLS VZG // RTI Sistemy VKO-2014: materialy II Vserossiiskoi nauchnoi konferentsii (18.06.2014, Moskva). S. 345–354.

6. Kozlov N. A. Obshchaya teoriya kosvennykh sposobov geodezicheskogo i astronomicheskogo orientirovaniya. M.: Ministerstvo oborony SSSR, 1979. 153 s.