Радиопромышленность. 2016; 26: 59-62
ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-3-59-62Аннотация
Рассмотрены возможности эллипсометрического метода для оптимизации определения показателя преломления оксинитридных диэлектрических пленок, проанализированы возможности эллипсометрии для определения толщины и оптических констант металлических пленок и полупроводникового соединения FeSi2.
Список литературы
1. Ржанов А. В., Свиташев К. К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 423 с.
2. А ззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1982. 582 с.
3. Р езвый Р. Р. Эллипсометрия в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1983, 120 с.
4. Г руздов В. В., Колковкий Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. М.: Техносфера, 2016. 328 с.
5. Б ешенков В. Г., Пархоменко Ю. Н., Подгорный Д. А., Полякова Е. Г. Диагностика фазового состава скрытых слоев силицидов железа в кремнии по оже-спектрам при ионном профилировании // Материалы ХХ Российской конференции по электронной микроскопии. 2005. Т. 69. № 4. С. 493–497
6. Т арасов И. А., Косырев Н. Н., Варнаков С. Н. и др. Эллипсометрическая экспресс-методика определения толщины и профилей оптических постоянных в процессе роста наноструктур Fe/SiO2/Si(100) // Журнал технической физики. 2012. Т. 82. С. 44.
7. Б урыкин И. Г. и др. Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии. М.: Наука, 1980. 192 с.
8. З авадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа POL-KNS, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2010613998 от 21.06.2010.
9. Г уськов Б. Л., Завадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа REF-3D, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2011617200 от 21.06.2010.
10. Гуськов Б. Л., Завадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа OPT-MIN, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2011617200 от 28.07.2011.
11. Тарасов И. А., Попов З. И., Варнаков С. Н. и др. // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2014. Т. 99. С. 610.
Radio industry (Russia). 2016; 26: 59-62
ELLIPSOMETRIC METHODS FOR CONTROL OF PARAMETERS OF MATERIALS AND RADIOELECTRONICS STRUCTURES
https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-3-59-62Abstract
The possibilities of ellipsometric method for optimization of identification of refractive index of oxynitride dielectric films have been
reviewed, the possibility of ellipsometry for identification of the thickness and optical constants of metal films and semiconductor compound FeSi2.
References
1. Rzhanov A. V., Svitashev K. K. Osnovy ellipsometrii. Novosibirsk: Nauka, 1979. 423 s.
2. A zzam R., Bashara N. Ellipsometriya i polyarizovannyi svet. M.: Mir, 1982. 582 s.
3. R ezvyi R. R. Ellipsometriya v mikroelektronike. M.: Radio i svyaz', 1983, 120 s.
4. G ruzdov V. V., Kolkovkii Yu. V., Kontsevoi Yu. A. Kontrol' novykh tekhnologii v tverdotel'noi SVCh elektronike. M.: Tekhnosfera, 2016. 328 s.
5. B eshenkov V. G., Parkhomenko Yu. N., Podgornyi D. A., Polyakova E. G. Diagnostika fazovogo sostava skrytykh sloev silitsidov zheleza v kremnii po ozhe-spektram pri ionnom profilirovanii // Materialy KhKh Rossiiskoi konferentsii po elektronnoi mikroskopii. 2005. T. 69. № 4. S. 493–497
6. T arasov I. A., Kosyrev N. N., Varnakov S. N. i dr. Ellipsometricheskaya ekspress-metodika opredeleniya tolshchiny i profilei opticheskikh postoyannykh v protsesse rosta nanostruktur Fe/SiO2/Si(100) // Zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 2012. T. 82. S. 44.
7. B urykin I. G. i dr. Algoritmy i programmy dlya chislennogo resheniya nekotorykh zadach ellipsometrii. M.: Nauka, 1980. 192 s.
8. Z avadskii Yu. I., Kontsevoi Yu. A. Programma POL-KNS, BAS. Svidetel'stvo o gosudarstvennoi registratsii programmy dlya EVM № 2010613998 ot 21.06.2010.
9. G us'kov B. L., Zavadskii Yu. I., Kontsevoi Yu. A. Programma REF-3D, BAS. Svidetel'stvo o gosudarstvennoi registratsii programmy dlya EVM № 2011617200 ot 21.06.2010.
10. Gus'kov B. L., Zavadskii Yu. I., Kontsevoi Yu. A. Programma OPT-MIN, BAS. Svidetel'stvo o gosudarstvennoi registratsii programmy dlya EVM № 2011617200 ot 28.07.2011.
11. Tarasov I. A., Popov Z. I., Varnakov S. N. i dr. // Pis'ma v Zhurnal eksperimental'noi i teoreticheskoi fiziki. 2014. T. 99. S. 610.
