Журналов:     Статей:        

Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015; : 1-8

Влияние различных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики

Демихов К. Е., Очков А. А., Полежаев А. .

Аннотация

В работе произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений с использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом. Представлены зависимости быстроты откачки и отношения давлений от основных параметров проточной части цилиндрического вакуумного молекулярного насоса. Произведен анализ полученных в ходе исследований характеристик, сделаны выводы и даны рекомендации по выбору основных оптимальных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса. Критерием оптимальности выбран минимальный условный объем проточной части. DOI: 10.7463/aplts.0315.0785997
Список литературы

1. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с

2. Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. № 12. С . 200-209. DOI:10.7463/1214.0748304

3. The Vacuum Technology Book. Volume II. GmbH: Pfeiffer Vacuum, 2013

4. Giors S., Colombo E., Inzoli F., Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes. I. Vacuum performance // Journal of Vacuum Science and Technology. Part A. 2006. Vol. 24, no. 4. P. 1584-1591. DOI:10.1116/1.2178362

Machines and Plants: Design and Exploiting. 2015; : 1-8

Various Parameters of the Flowing Part of a Cylindrical Molecular Vacuum Pump Effecting on Its Characteristics

Demikhov K. E., Ochkov A. A., Polezhaev A.

Abstract

In the context of modern industry the molecular vacuum pumps (MVP) are widely used. The analyzed current market of vacuum technology enables drawing a conclusion that this equipment holds one of the leading positions among the high-vacuum facilities of pumping due to their advantages such as insensitivity to the atmosphere breakthrough, ability to pump out heavy gases quickly, rapid start-up time, and oil-free pumping.

The earlier developed authors’ mathematical model and calculation program are used to assess the influence efficiency of the key geometrical parameters of flowing part of the cylindrical molecular pump on its main characteristics. The obtained dependences allow us to solve a relevant, but not completely resolved as yet problem of optimizing the high-vacuum pumping facilities in case of their operation in a wide range of pressures on the suction side.

The paper presents graphs of the pumping speed and ratio of the cylindrical vacuum molecular pump pressures versus various parameters of the flowing part, such as the angle of inclination of the helix, the relative diameter and the number of helical starts. Conclusions are drawn.

References

1. Demikhov K.E., Nikulin N.K. Optimizatsiya vysokovakuumnykh mekhanicheskikh nasosov. M.: Izd-vo MGTU im. N.E. Baumana, 2010. 255 s

2. Demikhov K.E., Ochkov A.A. Matematicheskaya model' protsessa otkachki gaza tsilindricheskim molekulyarnym vakuumnym nasosom v shirokom diapazone davlenii // Nauka i Obrazovanie. MGTU im. N.E. Baumana. Elektron. zhurn. 2014. № 12. S . 200-209. DOI:10.7463/1214.0748304

3. The Vacuum Technology Book. Volume II. GmbH: Pfeiffer Vacuum, 2013

4. Giors S., Colombo E., Inzoli F., Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes. I. Vacuum performance // Journal of Vacuum Science and Technology. Part A. 2006. Vol. 24, no. 4. P. 1584-1591. DOI:10.1116/1.2178362