Журналов:     Статей:        

Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015; : 25-34

Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений

Демихов К. Е., Очков А. А.

Аннотация

В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957
Список литературы

1. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с

2. Демихов К.Е., Очков А.А. Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса // Инженерный журнал: наука и инновации. 2012. № 7. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (дата обращения 01.03.2015)

3. Демихов К.Е., Очков А.А. Программное обеспечение оптимизации основных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 5. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (дата обращения 01.03.2015)

4. Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн. 2014. № 12. С. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304

5. Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971

6. The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013

7. Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013

8. Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013

9. Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011

Machines and Plants: Design and Exploiting. 2015; : 25-34

Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений

,

Abstract

В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957
References

1. Demikhov K.E., Nikulin N.K. Optimizatsiya vysokovakuumnykh mekhanicheskikh nasosov. M.: Izd-vo MGTU im. N.E. Baumana, 2010. 255 s

2. Demikhov K.E., Ochkov A.A. Metod rascheta optimal'noi otkachnoi kharakteristiki turbomolekulyarnogo vakuumnogo nasosa // Inzhenernyi zhurnal: nauka i innovatsii. 2012. № 7. Rezhim dostupa: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (data obrashcheniya 01.03.2015)

3. Demikhov K.E., Ochkov A.A. Programmnoe obespechenie optimizatsii osnovnykh parametrov turbomolekulyarnykh vakuumnykh nasosov // Inzhenernyi zhurnal: nauka i innovatsii. 2013. № 5. Rezhim dostupa: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (data obrashcheniya 01.03.2015)

4. Demikhov K.E., Ochkov A.A. Matematicheskaya model' protsessa otkachki gaza tsilindricheskim molekulyarnym vakuumnym nasosom v shirokom diapazone davlenii // Nauka i Obrazovanie. MGTU im. N.E. Baumana. Elektron. Zhurn. 2014. № 12. S. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304

5. Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971

6. The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013

7. Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013

8. Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013

9. Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011